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真空泵的測量方式
發布時間：2014-9-25 標簽：真空泵
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真空泵的測量方式：
1.熱偶真空計
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。
2.電離真空計
由(you)筒(tong)狀(zhuang)收(shou)集(ji)極(ji)，柵(zha)網(wang)和(he)位(wei)於(yu)柵(zha)網(wang)中(zhong)心(xin)的(de)燈(deng)絲(si)構(gou)成(cheng)，筒(tong)狀(zhuang)收(shou)集(ji)極(ji)在(zai)柵(zha)網(wang)外(wai)麵(mian)。熱(re)陰(yin)極(ji)發(fa)射(she)電(dian)子(zi)電(dian)離(li)氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)，離(li)子(zi)被(bei)收(shou)集(ji)極(ji)收(shou)集(ji)，根(gen)據(ju)收(shou)集(ji)的(de)離(li)子(zi)流(liu)大(da)小(xiao)來(lai)測(ce)量(liang)氣(qi)體(ti)壓(ya)強(qiang)的(de)真(zhen)空(kong)計(ji)。
3.複合真空計
由熱偶真空計與熱陰極電離真空計組成，測量範圍從大氣~10-5Pa。
4.冷陰極電離計
yangjitongdeliangduanyouyiduiyinjiban，zaiwaijiacichangzuoyong，yangjitongneixingchengpanningfangdianchanshenglizi，genjuyinjibanshoujideliziliudedaxiaolaicedingqitiyaqiangdezhenkongji。
5.電阻真空計
利用加熱元件的電阻與溫度有關，元件的溫度又與氣體傳導有關的原理，通過電橋電路來測量真空度的真空計。
6.麥克勞真空計
也(ye)成(cheng)為(wei)壓(ya)縮(suo)式(shi)真(zhen)空(kong)計(ji)，將(jiang)待(dai)測(ce)的(de)氣(qi)體(ti)用(yong)汞(gong)壓(ya)縮(suo)到(dao)一(yi)極(ji)小(xiao)體(ti)積(ji)，然(ran)後(hou)比(bi)較(jiao)開(kai)管(guan)和(he)閉(bi)管(guan)的(de)液(ye)柱(zhu)差(cha)，利(li)用(yong)玻(bo)義(yi)爾(er)定(ding)律(lv)直(zhi)接(jie)算(suan)出(chu)氣(qi)體(ti)壓(ya)強(qiang)的(de)一(yi)種(zhong)絕(jue)對(dui)真(zhen)空(kong)計(ji)。
7.電容薄膜真空計
這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規。收集極是一根細絲，放在柵網中心，燈絲放在柵網外麵，因而減少軟X射線影響，延伸測量下限，可測超高真空。
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