由於電真空結構材料除機械性能和加工性能外，還要滿足其它性能的要求:容易除氣、低的飽和蒸氣壓、一定的化學穩定性、一定的純度和清潔度，要有合適的輻射能力、溫度性質和光學性質等。所以電真空工藝具有特殊性，對清潔處理要求是嚴格的，應最大限度清除或減少零件的汙染。
電子管的生產、管guan子zi的de裝zhuang架jia和he零ling件jian處chu理li必bi須xu在zai封feng閉bi良liang好hao的de房fang間jian裏li進jin行xing。房fang間jian裏li的de牆qiang壁bi和he天tian花hua板ban都dou用yong高gao質zhi量liang的de半ban光guang澤ze的de韌ren性xing油you漆qi塗tu覆fu。地di麵mian用yong幹gan淨jing且qie打da上shang蠟la的de瀝li青qing合he成cheng物wu或huo磨mo砂sha瓷ci磚zhuan鋪pu蓋gai。空kong氣qi必bi須xu經jing過guo兩liang級ji或huo多duo級ji過guo濾lv。相xiang對dui濕shi度du保bao持chi在zai50%以下。
zaijinxingjingmizhuangjiadefangjianli，renyuanwanglaiyingjinkenengshao。lingjianheqitayongpintongguohuadongchumensongren。jingmizhuangjiadefangjianyukongtiaodedafangjiangekai。liwudekongqiyaojinyibuguolv。chukongtiaoqiheguolvqikaikouwai，qiangbi、地板、天花板以及門必須盡可能封閉嚴實。牆上灰泥、建築板、木板以及水泥等建築材料都均勻地塗上光澤的或半光澤的高級油漆。
對於有特殊要求的工作，要用幹燥箱來防止用其它方法未能阻擋的沾汙物(操作者的呼吸物、頭皮等)。當需要時，如在處理待激活的陰極表麵時，幹燥箱也隻能使用特定的惰性氣體。
為適合集成電路工藝生產的需要，生產車間應達到相應的潔淨室等級標準。
