youyuzhengqiliudeshangfangbeichouqitidefenyaqiangdayuzhengqiliuneigaiqitidefenyaqiang，guqitifenzibuduandiyoujiaogaofenyaqiangquxiangjiaodifenyaqiangqudezhengqiliuzhongkuosan，bingbeichaoyinsudezhengqiliufenzipengzhuang，qitifenziyinerdedaoyigezhixiangbengqianjifangxiangdesudufenliang，conghongguanshangkan，haoxiangqitifenzibeizhengqiliuzhujixiangxiatuisong。yuanlaitijijiaoda、壓強較低的氣體，經過幾級蒸氣流的壓縮後，到達前級空間時，已成為體積較小、壓強較高(10-3托以上)的(de)氣(qi)休(xiu)，隨(sui)即(ji)被(bei)前(qian)級(ji)機(ji)械(xie)泵(beng)抽(chou)走(zou)。而(er)從(cong)噴(pen)口(kou)噴(pen)出(chu)的(de)蒸(zheng)氣(qi)流(liu)落(luo)到(dao)水(shui)冷(leng)泵(beng)壁(bi)上(shang)，被(bei)冷(leng)凝(ning)成(cheng)液(ye)體(ti)流(liu)回(hui)到(dao)分(fen)餾(liu)鍋(guo)內(nei)，再(zai)受(shou)熱(re)變(bian)成(cheng)蒸(zheng)氣(qi)。如(ru)此(ci)反(fan)複(fu)循(xun)環(huan)，逐(zhu)漸(jian)在(zai)噴(pen)嘴(zui)的(de)上(shang)端(duan)和(he)附(fu)近(jin)便(bian)形(xing)成(cheng)了(le)一(yi)個(ge)低(di)壓(ya)強(qiang)區(qu)域(yu)，被(bei)抽(chou)容(rong)器(qi)內(nei)的(de)壓(ya)強(qiang)便(bian)不(bu)斷(duan)降(jiang)低(di)。
高速的蒸氣流對前級真空室裏的高壓強氣體來說，如同一道屏障，阻止它返回高真空端。這種泵高真空端壓強一般可低到10-8托以下，而前級壓強可高前10-1tuo，yinci，qitiyasuobigaodayibeiyishang，zheyeshiqitabengzhongwufabinideyoudian。danyouyuzhongzhongyuanyin，bengyezhengqifenzibukebimiandehuifanliurugaozhenkongduanerwuranzhenkongxitonghebeichourongqihuoqijian，zheshibixushefaxiaochude。jingguorenmenduonianduikuosanbengdebengxingjiegou、抽氣機理研究，對使用各種類型阱在不同條件下的擋油效率的研究，對擴散泵液、返油機理、擋油帽結構等問題的研究，使擴散泵技術取得了可觀的進展:抽速效率(何氏係數)可做到大於50%,最大工作能力每千瓦高於1托·升/秒，前級反壓強優於0.5托，不用冷阱直接抽氣極限壓強可達1 x10-9托，抽氣速率比老式泵已提高兩倍，最大容許排出壓強、耐久性等均得到加強。總的來說，關鍵的問題是由於低蒸氣壓泵液和返流控製研究的進展，才使得用油擴散泵來獲得超高或極高真空和“清潔”真空成為可能。隻要能徹底防止材料溶解氫的影響、徹底烘烤去氣、防止滲透，即盡量減少材料和泵壁放氣帶來的汙染，用擴散泵獲得最終極限壓強達10-16托量級目前看來是有可能的。 |
