真空環境的獲得需要使用各種各樣的真空泵,它們是真空係統的主要組成部分.按(an)其(qi)獲(huo)得(de)真(zhen)空(kong)方(fang)法(fa)的(de)原(yuan)理(li)不(bu)同(tong),可(ke)以(yi)將(jiang)真(zhen)空(kong)泵(beng)分(fen)為(wei)兩(liang)大(da)類(lei),即(ji)輸(shu)運(yun)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)和(he)捕(bu)獲(huo)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)。輸(shu)運(yun)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)采(cai)用(yong)對(dui)氣(qi)體(ti)進(jin)行(xing)壓(ya)縮(suo)的(de)方(fang)式(shi)將(jiang)氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)輸(shu)送(song)至(zhi)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)之(zhi)外(wai):而捕獲式真空泵則依靠在真空係統內凝集或吸附氣體分子的方式將氣體分子捕獲,排除於真空係統之外.與輸運式真空泵不同,某些捕獲式真空泵在工作完畢以後還可能將己捕獲的氣體分子釋放回真空係統。
輸運式泵又可細分為機械式氣體輸運泵和氣流式氣體輸運泵。旋轉式機械真空泵、羅茨泵以及渦輪分子泵是機械式氣體運輸泵的典型例子,而油擴散泵則屬於氣流式氣體運輸泵。捕獲式真空泵包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。