低真空機組的主要特點是工作壓力高、排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用於真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空幹燥、真空脫氣(鋼水處理)等裝置中。
低真空抽氣機組的主泵常用往複式真空泵、油封式機械泵、幹式機械泵、水噴射泵、水蒸氣噴射泵、水環泵，分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等直排大氣真空泵.使用低真空抽氣機組，還需要根據被抽氣體清沽程度、濕度或其他特殊要求，配裏必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、幹澡阱等部件。
(1)油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施。
油封機械泵不適於抽除含有大量水蒸氣的氣體.水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，並與泵油混合形成懸浮液，破壞泵的抽氣性能，使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝皿的油封機械泵，並使泵的工作溫度控製在75-90℃之間，以減少氣鎮閥負擔;在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝捉，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再進人泵中使用;使(shi)用(yong)各(ge)種(zhong)幹(gan)燥(zao)吸(xi)附(fu)劑(ji)做(zuo)成(cheng)捕(bu)集(ji)阱(jing)吸(xi)收(shou)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)。使(shi)用(yong)各(ge)種(zhong)冷(leng)凝(ning)器(qi)或(huo)冷(leng)阱(jing)，不(bu)僅(jin)能(neng)有(you)效(xiao)地(di)吸(xi)附(fu)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)，同(tong)時(shi)還(hai)可(ke)阻(zu)擋(dang)機(ji)械(xie)泵(beng)向(xiang)真(zhen)空(kong)室(shi)的(de)返(fan)流(liu)。
(2)常用機組形式。
油封機械泵低真空機組.適用於化學氣相沉積裝置、真空包裝、醫藥工業等領域。
有擋油阱的低真空機組。雙級水環泵和大氣噴射泵申聯組成的機組極限壓力1300Pa。gongzuoshi，xiankaidongshuihuanbeng，yihuodedaqipenshebengsuoxudeyuyali，shidaqipenshebengdejinqikouyuchuqikouzhijianyouyalicha，daqibiantongguopenshejinrenbengneixingchenggaosuyundongqiliu.將被抽氣體吸人，經擴壓器被水環泵排走。
該機組適用於真空蒸發、真空濃縮、真空浸演、真空幹煤、真空冷凍等工藝過程。
