1、隔膜閥
圖1所suo示shi為wei隔ge膜mo式shi真zhen空kong閥fa。隔ge膜mo閥fa適shi用yong於yu真zhen空kong係xi統tong的de接jie通tong或huo截jie止zhi，它ta是shi利li用yong閥fa杆gan將jiang彈dan性xing體ti薄bo膜mo緊jin壓ya在zai閥fa座zuo上shang來lai隔ge斷duan氣qi路lu。橡xiang皮pi彈dan性xing薄bo膜mo上shang有you一yi提ti鈕niu。提ti起qi提ti鈕niu，通tong道dao接jie通tong。反fan之zhi壓ya緊jin就jiu截jie止zhi.如轉動手輪可帶動閥杆上、下移動，使隔膜離開閥座打開閥門或使隔膜緊壓在閥座上關閉閥門。此種閥門如采用丁睛橡膠隔膜，適用於前級和預抽管道上及溫度為-25~80℃的非腐蝕性氣體。如采用氟橡膠隔膜，可用於高真空係統，使用溫度範圍為-30-1501℃。
2、真空球閥
圖2所(suo)示(shi)是(shi)真(zhen)空(kong)球(qiu)閥(fa)的(de)結(jie)構(gou)，該(gai)閥(fa)中(zhong)的(de)密(mi)封(feng)機(ji)構(gou)是(shi)山(shan)兩(liang)個(ge)環(huan)狀(zhuang)彈(dan)性(xing)體(ti)緊(jin)壓(ya)於(yu)一(yi)個(ge)金(jin)屬(shu)球(qiu)表(biao)麵(mian)構(gou)成(cheng)。金(jin)屬(shu)球(qiu)上(shang)有(you)一(yi)個(ge)大(da)穿(chuan)孔(kong)，借(jie)助(zhu)於(yu)手(shou)柄(bing)轉(zhuan)動(dong)金(jin)屬(shu)球(qiu)使(shi)穿(chuan)孔(kong)改(gai)變(bian)方(fang)向(xiang)，即(ji)可(ke)接(jie)通(tong)或(huo)切(qie)斷(duan)氣(qi)路(lu)。金(jin)屬(shu)球(qiu)軸(zhou)杆(gan)與(yu)閥(fa)體(ti)間(jian)的(de)密(mi)封(feng)采(cai)用(yong)0形密封圈密封。
3、真空蝶閥
蝶閥的結構比較簡單，如圖3所示。閥板的邊緣上嵌有U形(xing)密(mi)封(feng)圈(quan)，閥(fa)板(ban)靠(kao)螺(luo)栓(shuan)固(gu)定(ding)在(zai)傳(chuan)動(dong)軸(zhou)閥(fa)杆(gan)上(shang)，使(shi)閥(fa)杆(gan)帶(dai)動(dong)閥(fa)板(ban)轉(zhuan)動(dong)，當(dang)閥(fa)板(ban)上(shang)的(de)密(mi)封(feng)圈(quan)與(yu)閥(fa)體(ti)緊(jin)密(mi)接(jie)觸(chu)時(shi)即(ji)實(shi)現(xian)了(le)閥(fa)門(men)的(de)關(guan)閉(bi)。從(cong)關(guan)閉(bi)位(wei)皿(min)始(shi)，閥(fa)板(ban)再(zai)轉(zhuan)動(dong)90℃時，閥門即完全打開.該種閥門的主要優點是體積小結構簡單。 |
