閥門在真空裝置中，是為了分隔係統的各部分用的。按其工作特性，可分為預真空閥和高真空閥，兩者主要區別在於其出入口直徑尺寸和真空密封結構。前者的出入口直徑，一般在15-20毫米左右，多用真空橡皮墊圈密封，用於預真空部分，而後者的口徑為65、100、150、180毫米或更大些，密封多用金屬墊(特別是用於超高真空部分的閥門)，隻有極限真空低於10-6托時，用橡皮密封才較多。它們在使用材料上，均廣泛應用黃銅、鋼、不鏽鋼等金屬，由於鑄造具有多孔性，故真空閥門都不用鑄件。
對於閥杆與蓋或與閥體的密封主要形式，不外乎橡皮的、金屬皺紋管的兩種，薄膜的(指在閥中用被青銅或鎳皮製成的，厚度為0.1-0.15毫米的皺紋薄膜密封，一般其往複行程為2-4毫米)用得較少。
在閥門孔處的密封(指關閉閥的密封)，一般是用真空橡皮。用錐形閥盤(由軟質材料銀、鎳或黃銅製成)與圓往形閥座(用淬火鋼)的線狀緊密貼合密封，由於它的耐久性不好(如閥盤對閥座略為偏斜，密封表麵加工有缺陷，以及過份壓緊閥盤而擠壓閥座，都會使閥門不再嚴密而需修理).隻用於超高真空中。而油密封及液態金屬密封，除某些真空度要求高而導管尺寸不太大的係統外，應用也不多。
在設計真空閥時，應充分注意到它的工作特性，合理設計結構和提出技術條件.滿足以下幾點主要要求:
l)閥的任何地方都不應漏氣。
2)閥的連接部分和閥門處在關閉時的密封，應保證真空嚴密性和可靠性。密封零件最好可以更換。
3)閥的出入口及閥腔，應盡可能是直的，使氣流少轉彎，並在閥開啟時，有足夠大的空間供氣流通過，有良好的通導能力。
4)閥的開關操作應輕快方便，極位(開、關、放氣……)操作順序和轉動方向應加標誌並定位。
5)閥的全部金屬零件(特別是內表麵)應都是抗腐蝕的，蒸汽壓低的，表麵光潔的。
6)閥的結構應簡單和便於製造，注意焊縫應減少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工廠條件難以加工的結構(如真空焊接)。
常見的真空閥的典型結構原理。它們的操縱動力，包括手動、氣動和電動等。
真空閥的結構形式，豐要分為單閥(包括二通和三通。直通和F形，T形)和組合閥(多通)兩種。其中特別是高真空閥和組合閥，在閥體上往往還要連接真空測盆接頭或其他接頭(如引電入真空的電接線柱)。
隨sui著zhe我wo國guo電dian子zi工gong業ye的de發fa展zhan，真zhen空kong裝zhuang置zhi為wei滿man足zu新xin的de生sheng產chan工gong藝yi，複fu雜za的de真zhen空kong係xi統tong使shi用yong著zhe許xu多duo閥fa門men來lai控kong製zhi，為wei了le使shi係xi統tong導dao管guan長chang度du縮suo短duan，提ti高gao通tong導dao能neng力li，簡jian化hua係xi統tong結jie構gou，並bing便bian於yu操cao作zuo和he製zhi造zao，目mu前qian已yi逐zhu漸jian向xiang組zu合he閥fa邁mai進jin，用yong一yi個ge閥fa來lai代dai替ti若ruo幹gan個ge閥fa的de工gong作zuo，並bing集ji中zhong控kong製zhi。用yong於yu真zhen空kong機ji組zu上shang的de組zu合he閥fa(又叫多擋閥)結構，在這個閥上，集中了頂真空、高真空、充、放氣等閥，並根據操作需要，可方便地用三個手柄，控製預真空泵、高真空泵、儲氣桶(氣雄)、充氣瓶(或管道)與容器(指真空室)的de通tong路lu的de接jie通tong或huo斷duan開kai，使shi它ta們men各ge自zi單dan獨du與yu容rong器qi接jie通tong，或huo串chuan聯lian工gong作zuo，或huo完wan全quan隔ge離li，從cong而er有you利li於yu不bu同tong的de工gong藝yi操cao作zuo。工gong作zuo容rong器qi可ke以yi安an裝zhuang在zai閥fa體ti上shang部bu，也ye可ke以yi安an裝zhuang在zai側ce麵mian。 |
