用來產生低壓空間的設備叫做“真空泵”,一般可以分為“前級泵”和“次級泵”兩種:前者用於把1大氣壓的氣體抽除至較低的壓強,後者則用於把較低壓強的氣體抽除至更低的壓強。
前級泵的種類很多。在真空技術方麵,一般要求前級泵的性能為:
1.能將某一規定容器內的氣體壓強從大氣壓(760乇)抽至10-3乇左右;
2.在壓力為1乇左右時抽氣速率與它的最高抽氣速率尚可比擬,即不致降落得太多。
能neng夠gou同tong時shi滿man足zu這zhe兩liang個ge條tiao件jian的de泵beng還hai隻zhi有you轉zhuan動dong真zhen空kong泵beng。廣guang義yi地di視shi來lai,轉zhuan動dong真zhen空kong泵beng就jiu是shi使shi用yong機ji械xie轉zhuan子zi使shi空kong間jian不bu斷duan膨peng脹zhang以yi獲huo得de低di壓ya的de股gu備bei,一yi般ban可ke以yi分fen為wei旋xuan片pian式shi、定片式、滑閥式、離心式以及草鞋式(羅茨泵)等幾種,但在一般實驗室或需要高真空的工業單位中,最常用的是前麵兩種。