保證高度的真空除需要爐子的可靠的氣密性及真空管道以外，還需要有合適的真空泵設備。
對真空泵的(de)要(yao)求(qiu)是(shi)根(gen)據(ju)進(jin)行(xing)還(hai)原(yuan)周(zhou)期(qi)的(de)條(tiao)件(jian)而(er)提(ti)出(chu)的(de)。爐(lu)內(nei)裝(zhuang)加(jia)壓(ya)塊(kuai)及(ji)爐(lu)子(zi)關(guan)閉(bi)以(yi)後(hou)，必(bi)須(xu)抽(chou)出(chu)爐(lu)膛(tang)內(nei)的(de)空(kong)氣(qi)。然(ran)後(hou)，隨(sui)著(zhe)裝(zhuang)料(liao)的(de)加(jia)熱(re)，從(cong)壓(ya)塊(kuai)中(zhong)析(xi)出(chu)吸(xi)入(ru)的(de)和(he)化(hua)合(he)的(de)氣(qi)體(ti)（水蒸汽及二氧化碳）。這zhe些xie氣qi體ti在zai較jiao高gao溫wen度du下xia析xi出chu時shi，即ji使shi為wei量liang不bu多duo，也ye能neng大da大da地di提ti高gao爐lu壓ya，而er破po壞huai真zhen空kong過guo程cheng。此ci外wai，二er氧yang化hua碳tan與yu水shui蒸zheng汽qi竄cuan入ru較jiao熱re的de地di區qu時shi，克ke與yu矽xi以yi及ji析xi出chu的de水shui蒸zheng氣qi發fa生sheng作zuo用yong。所suo以yi必bi須xu保bao證zheng迅xun速su而er充chong分fen地di抽chou出chu析xi出chu的de氣qi體ti。
因此，真空泵應完成下列任務：首先，應保證周期開始時在正常壓力下大量氣體的抽出；其次，是在整個操作周期內在低壓下保持相當大的氣體抽出速度。
