在半導體製造業中有很多種不同的真空泵。我們把它們分成兩類:初級泵和高級真空泵。初級泵有幾種用途:在腔內創造近似中級真空(壓力小於10-3托);清空多腔集成設備中接收矽片的區域(如真空鎖);為高級真空泵抽氣(見圖1).高級真空泵用來獲得壓力範圍10-3托到10-9托(tuo)的(de)高(gao)級(ji)和(he)超(chao)高(gao)級(ji)真(zhen)空(kong)。新(xin)型(xing)晶(jing)片(pian)廠(chang)中(zhong)使(shi)用(yong)的(de)現(xian)代(dai)真(zhen)空(kong)泵(beng)是(shi)幹(gan)性(xing)的(de)，意(yi)味(wei)著(zhe)其(qi)內(nei)部(bu)沒(mei)有(you)任(ren)何(he)可(ke)能(neng)回(hui)流(liu)到(dao)工(gong)藝(yi)腔(qiang)中(zhong)沾(zhan)汙(wu)矽(gui)片(pian)的(de)油(you)或(huo)潤(run)滑(hua)劑(ji)。
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