主泵羅茨泵的選擇主要考慮其抽速的大小，由於VPD設備對達到工作真空度所需要抽氣時間的要求並不很嚴格，所以主泵抽速的選擇範圍很寬.一般是根據高真空階段真空罐內漏、放氣總量除以最終工作真空度而得到.實踐中.一般可按主泵的額定抽速(L/s)為真空罐容積(L)的1%左右估算預選。
因為真空罐的冷態極限真空度(1Pa)和最終工作真空度(10Pa)要求並不高，所以選用羅茨泵配
前級泵的真空係統是完全可以的.不過近年來VPD設(she)備(bei)更(geng)多(duo)地(di)采(cai)用(yong)了(le)雙(shuang)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)，即(ji)在(zai)主(zhu)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)和(he)前(qian)級(ji)泵(beng)之(zhi)間(jian)加(jia)裝(zhuang)一(yi)個(ge)中(zhong)間(jian)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)，目(mu)的(de)是(shi)進(jin)一(yi)步(bu)縮(suo)短(duan)抽(chou)氣(qi)時(shi)間(jian)，提(ti)高(gao)工(gong)作(zuo)真(zhen)空(kong)度(du)和(he)降(jiang)低(di)對(dui)主(zhu)泵(beng)性(xing)能(neng)的(de)要(yao)求(qiu)。主(zhu)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)與(yu)中(zhong)間(jian)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)的(de)抽(chou)速(su)比(bi)在(zai)(2:1)~(4:1)範圍.按一般真空係統配泵規律處理即可。VPD設備所用羅茨泵的特殊之處是被抽氣體中有少量煤油蒸氣並且溫度較高。選泵時應特別注明.使製造廠在確定羅茨泵轉子間隙、選擇泵內密
封材料的過程中加以專門考慮。另外.一般選用帶有旁通閥的羅茨泵。
