早期的真空係統都必須由真空工作者親自設計、組裝.後來由於行業的發展壯大，遂有真空機組的供應。真空機組分為低真空機組、高真空機組、超高真空機組等多種，且種類繁多，不勝枚舉.現介紹一些於下。
一、低真空機組(一)—含油機組
低真空機組的特點是工作壓強高、排氣量大。多用於真空室的粗抽以及氣體負載大、工作壓強高的場合，如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空幹燥、真空脫氣等裝盟中。低真空抽氣機組的主泵常用往複式機械泵、旋轉油封機械泵、水蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等，除後兩者不能直接排於大氣外，其餘各種泵均能直接排於大氣。使用低真空抽氣機組，還需要根據被抽氣體的潔淨程度、濕度或其他特殊要求，配置必要的除塵器、幹燥罐等部件，以保護機組，免致泵腔磨損。
二、低真空機組(二)—幹式(無油)機組
近jin年nian來lai用yong多duo級ji爪zhao式shi泵beng作zuo為wei前qian級ji泵beng，和he一yi個ge羅luo茨ci泵beng串chuan接jie組zu成cheng的de幹gan式shi抽chou氣qi機ji組zu，能neng將jiang氣qi體ti直zhi接jie抽chou到dao大da氣qi中zhong，獲huo得de了le廣guang泛fan的de應ying用yong。主zhu要yao應ying用yong在zai半ban導dao體ti、冶金、化學等行業.現舉例如下。
1.輕負載機組
主要應用於薄膜工藝、真空工藝及科學研究中抽除幹燥和非腐蝕性氣體用。機組泵的級數有1+3和1+4(1個羅茨泵、3或4級的爪式泵)兩種，前者極限真空為10~1Pa.後者達1~10-1Pa(均不含惰性氣體時);最高進口壓強900托，進口氣體最高溫度(120000Pa時)40℃，最高出口壓強150000 Pa。抽速在200~400m3/hrs.泵的轉速有2850 r.p.m.及3400 r.P.m.兩種，需水冷，軸承需氮氣吹洗，氮耗量每分鍾0.35L。
2.中等負載機組
主要應用於抽取腐蝕性氣體，為含蒸汽及塵粒的工藝過程提供真空環境等，如化學工藝、半導體工藝，當然，薄膜工藝、真空工藝及科學研究等也均能勝任。
3.苛刻負載機組
主要應用於抽除會產生副產品而阻塞泵的氣體或蒸汽.以及提供產生顆粒的真空工藝過程所需的真空環境，如製TiN、生長晶體、某些CVD過程等。
三、超高真空機組
超高真空機組是工作壓強在超高真空區域(<10-8Torr)能承受一定氣體負載的真空機組。
1.分子泵機組
ULVAC公司開發出一種無需冷水的分子泵機組(MUE-ECO係列).用100L/min(N2)的油封旋轉機械泵作為前置泵;機組抽速達210L/S(對N2).極限真空<10-8Torr,其最高Ar負載為30cm3/min.
該機組的主要特點是:結構緊湊通用性強;易於操作和維護，如易換試樣，因其工作室的上部是像鍾罩一樣可取下的(工作室直徑250 mm左右)，而底部用法蘭連接至分子泵，周圍有多個法蘭接口供接入蒸發源、膜厚監測探頭等之用;工作室(不鏽鋼製成)內表麵經特殊化學拋光.故室壁放氣少、達到極限真空快。
2.低溫冷凝泵機組
這種機組由低溫冷凝泵及製冷機組成，無需另用液氦或液氮。廠方可根據客戶要求提供所需性能的機組，例如:為濺射裝置用的大抽速型;為刻蝕及CVD裝置用的無腐蝕型;為獲得更佳真空的可烘烤型;為科學實驗用的低振動型;機組高度較矮的L型等。 |
