羅茨真空機組是以羅茨泵為主泵並選配不同的前級泵而組成的真空抽氣裝置。根據前級真空泵的不同，機組有下列幾種型式，即羅茨-旋片泵機組;羅茨-滑閥泵機組;羅茨-水環泵機組以及雙羅茨泵機組等。
①如果被抽氣體無特殊性，既無腐蝕性和毒性。又不是低蒸氣壓的氣體，如潔淨空氣等，應首先考慮采用旋片式真空泵作為機組的前級泵。因為旋片式真空泵有大的壓縮比和寬的工作壓力範圍，雙級旋片式真空泵的工作壓力範圍從大氣壓力至1×10-2Pa，單級旋片式真空泵的工作壓力範圍從大氣壓力至1Pa。即便是單級旋片真空泵作為一級羅茨機組的前級泵，其極限壓力可達1×10-1Pa。這(zhe)類(lei)配(pei)置(zhi)由(you)於(yu)機(ji)組(zu)有(you)較(jiao)寬(kuan)的(de)工(gong)作(zuo)壓(ya)力(li)範(fan)圍(wei)，所(suo)以(yi)經(jing)濟(ji)性(xing)好(hao)，使(shi)用(yong)廣(guang)泛(fan)。同(tong)樣(yang)，滑(hua)閥(fa)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)也(ye)是(shi)這(zhe)類(lei)配(pei)置(zhi)的(de)首(shou)選(xuan)前(qian)級(ji)泵(beng)，滑(hua)閥(fa)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)因(yin)其(qi)對(dui)被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)中(zhong)含(han)少(shao)量(liang)雜(za)質(zhi)的(de)敏(min)感(gan)性(xing)低(di)於(yu)旋(xuan)片(pian)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，故(gu)在(zai)許(xu)多(duo)場(chang)合(he)優(you)於(yu)旋(xuan)片(pian)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)作(zuo)為(wei)前(qian)級(ji)泵(beng)配(pei)置(zhi)。
②如(ru)果(guo)被(bei)抽(chou)氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)帶(dai)有(you)腐(fu)蝕(shi)性(xing)或(huo)氣(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)會(hui)裂(lie)解(jie)前(qian)級(ji)真(zhen)空(kong)泵(beng)油(you)，或(huo)者(zhe)抽(chou)除(chu)較(jiao)低(di)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)的(de)氣(qi)體(ti)，一(yi)般(ban)前(qian)級(ji)泵(beng)就(jiu)不(bu)能(neng)使(shi)用(yong)旋(xuan)片(pian)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)和(he)滑(hua)閥(fa)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，因(yin)為(wei)這(zhe)類(lei)氣(qi)體(ti)會(hui)對(dui)前(qian)級(ji)泵(beng)產(chan)生(sheng)腐(fu)蝕(shi)，或(huo)會(hui)產(chan)生(sheng)大(da)量(liang)水(shui)蒸(zheng)氣(qi)凝(ning)結(jie)在(zai)前(qian)級(ji)泵(beng)，侵(qin)蝕(shi)泵(beng)油(you)後(hou)使(shi)前(qian)級(ji)泵(beng)不(bu)能(neng)正(zheng)常(chang)工(gong)作(zuo)。在(zai)這(zhe)種(zhong)情(qing)況(kuang)下(xia)，選(xuan)擇(ze)水(shui)環(huan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)為(wei)前(qian)級(ji)泵(beng)較(jiao)為(wei)合(he)適(shi)。一(yi)般(ban)水(shui)環(huan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)與(yu)一(yi)級(ji)、二級或三級羅茨泵組成的機組，其極限壓力分別可達650Pa, 25Pa, 1pa.但是這類使用中有一個值得注意的問題是:
常(chang)常(chang)遇(yu)到(dao)被(bei)抽(chou)的(de)物(wu)質(zhi)對(dui)環(huan)境(jing)有(you)汙(wu)染(ran)，則(ze)必(bi)須(xu)選(xuan)擇(ze)相(xiang)適(shi)合(he)的(de)液(ye)體(ti)組(zu)成(cheng)循(xun)環(huan)使(shi)用(yong)的(de)封(feng)閉(bi)液(ye)環(huan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)，同(tong)時(shi)要(yao)配(pei)上(shang)工(gong)作(zuo)液(ye)熱(re)交(jiao)換(huan)冷(leng)卻(que)裝(zhuang)置(zhi)和(he)液(ye)環(huan)真(zhen)空(kong)泵(beng)出(chu)口(kou)氣(qi)體(ti)與(yu)液(ye)體(ti)的(de)分(fen)離(li)裝(zhuang)置(zhi)。
③如(ru)果(guo)在(zai)一(yi)個(ge)封(feng)閉(bi)係(xi)統(tong)中(zhong)抽(chou)除(chu)有(you)毒(du)氣(qi)體(ti)，或(huo)是(shi)抽(chou)除(chu)並(bing)回(hui)收(shou)一(yi)些(xie)潔(jie)淨(jing)氣(qi)體(ti)，或(huo)者(zhe)是(shi)抽(chou)除(chu)一(yi)個(ge)巨(ju)大(da)容(rong)器(qi)中(zhong)的(de)氣(qi)體(ti)將(jiang)其(qi)輸(shu)送(song)至(zhi)貯(zhu)罐(guan)中(zhong)，這(zhe)類(lei)情(qing)況(kuang)，旋(xuan)片(pian)式(shi)和(he)滑(hua)閥(fa)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)及(ji)水(shui)環(huan)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)均(jun)不(bu)能(neng)作(zuo)羅(luo)茨(ci)泵(beng)的(de)前(qian)級(ji)泵(beng)，比(bi)較(jiao)理(li)想(xiang)的(de)是(shi)選(xuan)用(yong)氣(qi)體(ti)循(xun)環(huan)冷(leng)卻(que)羅(luo)茨(ci)真(zhen)空(kong)泵(beng)。因(yin)為(wei)該(gai)泵(beng)具(ju)有(you)高(gao)壓(ya)縮(suo)比(bi)及(ji)大(da)壓(ya)差(cha)特(te)性(xing)，可(ke)直(zhi)排(pai)大(da)氣(qi)，大(da)大(da)增(zeng)加(jia)機(ji)組(zu)的(de)排(pai)氣(qi)量(liang)。一(yi)個(ge)二(er)級(ji)羅(luo)茨(ci)泵(beng)加(jia)三(san)級(ji)氣(qi)體(ti)循(xun)環(huan)冷(leng)卻(que)羅(luo)茨(ci)泵(beng)的(de)五(wu)級(ji)機(ji)組(zu)，其(qi)極(ji)限(xian)壓(ya)力(li)可(ke)達(da)10-1Pa，工作壓力範圍可從大氣壓力至 5×10-1Pa。同時，氣體循環冷卻羅茨真空泵本身也可作為主抽泵，與水環真空泵組成機組，適合於②所(suo)述(shu)的(de)一(yi)些(xie)高(gao)壓(ya)差(cha)工(gong)況(kuang)，使(shi)真(zhen)空(kong)機(ji)組(zu)的(de)可(ke)靠(kao)性(xing)更(geng)好(hao)。正(zheng)因(yin)為(wei)氣(qi)體(ti)循(xun)環(huan)冷(leng)卻(que)羅(luo)茨(ci)泵(beng)有(you)這(zhe)些(xie)特(te)點(dian)，所(suo)以(yi)在(zai)目(mu)前(qian)羅(luo)茨(ci)真(zhen)空(kong)泵(beng)機(ji)組(zu)中(zhong)的(de)使(shi)用(yong)越(yue)來(lai)越(yue)普(pu)遍(bian)。
④如果被抽係統要求提供無油、水蒸氣汙染的清潔真空環境，前級泵則應采用幹式真空泵，可選擇螺杆式、zhaoshihuohuosaishiwuyouzhenkongbeng，luocibengyeyingxuanyongwuyouwurandeleixing。zhezhongpeizhifanganjikejiejuedanchunshiyongganshibengjixianzhenkongdudidewenti，younengbaozhengyoujiaodadechousu。qianjibengdexuanzeziranhaiyingkaolvxuanzeduodadechousulaipipeiyuzhubengluocibengdejibi，yishiyingbeichourongqidaxiaohedadaogongzuoyalisuoxushijiandeyaoqiu。
