真(zhen)空(kong)技(ji)術(shu)中(zhong)習(xi)慣(guan)以(yi)各(ge)向(xiang)同(tong)性(xing)的(de)中(zhong)性(xing)氣(qi)體(ti)的(de)壓(ya)力(li)來(lai)表(biao)示(shi)真(zhen)空(kong)度(du)的(de)高(gao)低(di)。通(tong)常(chang)把(ba)用(yong)於(yu)測(ce)量(liang)比(bi)大(da)氣(qi)壓(ya)小(xiao)得(de)多(duo)的(de)氣(qi)體(ti)壓(ya)力(li)的(de)工(gong)具(ju)稱(cheng)為(wei)真(zhen)空(kong)計(ji)或(huo)真(zhen)空(kong)規(gui).由幹指定空間內被測氣體大多數為混合氣體.因此.一般意義上的真空測量應屬於混合氣體的全壓力測量。所用的真空計也是測量全壓力的真空計.
zhenkongceliangjishuhaibaokuoqitichengfenfenxihefenyaliceliangliangfangmianneirong。qianzheshizhidingxingdipanduancanyuqitizhongbaohanyounaxiezhongleiqitichengfenbingdalvegujigezisuozhandebili.後者則是指在能滿足一定精度要求的條件下定量測定各種氣體成分的分壓力值。所使用的儀器基本是不同類型的質譜計.分別稱為殘餘氣體分析儀和分壓力計。
目前所采用的真空計.一種是從其本身測得的壓強物理量中直接算出氣體的壓力值.這就是絕對真空計,另一種是通過與氣體壓力有關的物理量以間接方法反映出所測的氣體壓力值.這就是相對真空計。由於相對真空計必須通過絕對真空計的校準才能準確地對真空度進行測量.因此在真空測量技術中除了應包括對氣體全壓力和分壓力的測量外.還必須把真計的校準問題納入其內。