考慮某真空係統用何種真空泵,首shou先xian應ying根gen據ju係xi統tong的de要yao求qiu,其qi次ci應ying對dui該gai泵beng性xing能neng特te點dian有you詳xiang細xi了le解jie,比bi較jiao了le各ge種zhong泵beng的de優you缺que點dian後hou,再zai決jue定ding之zhi,這zhe樣yang才cai能neng選xuan用yong得de適shi當dang。為wei便bian於yu選xuan擇ze所suo要yao使shi用yong的de真zhen空kong泵beng,現xian將jiang我wo國guo生sheng產chan的de各ge種zhong類lei型xing真zhen空kong泵beng總zong的de情qing況kuang歸gui納na總zong結jie一yi下xia,簡略比較它們的特性和優缺點,看來是必要的。
一、油封機械泵
現生產的2X型旋片泵均為雙級,抽速為0.5~150升/秒,有全係列的產品。
滑閥泵分單級(H型)、雙級(2H型)。抽速:H型為8~600升/秒;2H型為8~70升/秒。亦有成係列生產的產品。
餘擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產。
這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級泵和預抽泵。帶有氣鎮裝置的可抽除潮濕空氣。但極限真空比抽幹燥空氣(不用氣鎮時)低一個數量級。泵的抽速係指進口壓強在760托時之抽速,當係統壓強下降時抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近於零。其抽降係數有一定規定。
二、機械增壓泵(羅茨泵)
工作壓強範圍10~5x10-4托,常用範圍2~5x10-3托,抽速範圍150~2000升/秒,我國已有成係列產品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強範圍較寬,最大排氣壓強較高(機械增壓泵10~30托,油增壓泵1~2托),返流油蒸氣很少,用它抽除含有水蒸氣等可凝性氣體時較合適。
三、油增壓泵
工作壓強範圍1~1x10-4托,常用範圍在0.1~1x10-2托,抽速範圍200~40000升/秒,彌補了機械泵、擴散泵在此壓強範圍內抽速小的缺陷。對惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。
四、油擴散泵
普通油擴散泵的工作壓強範圍10-2~5x10-7托,常用範圍10-8~5x10-6托,抽速範圍20~100000升/秒,金屬、玻璃結構的擴散泵均成係列生產。超高真空油擴散泵極限壓強約為10-10托,除結構與普通油擴散泵略有一點差異外,主要是工作液不同,結構材料不同,即用275矽油等作泵液,結構材料用不鏽鋼。新設計的超高真空泵差異就較大了。