真空技術廣泛應用於各種工藝過程,如真空冶煉爐、RH真空處理、真空噴塗、真空蒸餾、真空濃縮、真空焊接、真空澆鑄、真空鍍膜、真空表麵處理、真空陰極射線管、真空幹燥、真空滅菌、食品包裝、太陽能的開發和利用、粒子加速器、受控核聚變以及航天等等。用來獲得並測量有特定要求的真空度的抽氣係統稱為真空係統。
yingyongyugezhongbutonggongyiguochengdezhenkongxitong,zhongleifanduo,zhuyaofenweilianglei。yishidongtaizhenkongxitong,zhezhongxitongyikaozhenkonghuodeshebeidelianxuyunxing,buduandipaichujinruxitongdeqitilaihuodewendingdezhenkong.係統內有氣體流動,各處壓力有所不同。二是靜態真空係統.它沒有任何與外界貫通點,真空建立後不要真空泵就可以長時間維持不變,係統內壓力處處相等.。
真空係統由真空設備本體(如真空爐、真空容器等)、真空泵、冷阱、真空導管、閥門、真空計、波紋管和過濾器等組成。
真空泵是真空係統的心髒,工業上一般使用機械式真空泵、增壓泵和擴散泵。機械泵包括旋片真空泵、定片泵、滑閥泵、水環真空泵、螺杆泵等,可單獨作為低真空係統的主泵.也可作為高真空係統的前置泵。擴散泵工作壓力在1.3x10-1~6.7x104Pa(無冷阱)和1.3x10-5~1.3x10-7Pa(有冷阱)的.可以作為高真空係統的主泵.運行時必須配有前置泵。機械泵在1pa以下工作性能很差.為了更好地與擴散泵配合,在機械泵和擴散泵之間可設置增壓泵.增壓泵可以選用羅茨泵和油增壓泵等。對於超高和極高真空係統,有分子泵、吸氣泵、欽泵和低溫泵等可供選擇。