真空泵中所用的真空計可分為兩大類:一類是能直接測出係統壓力的絕對真空規，如麥克勞(Mcleod )真空規;另一類是經絕對真空規標定後使用的相對真空規，熱偶真空規與電離真空規是最常用的相對真空規。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)zhijiejisuanchuqitiyalidechengjueduizhenkongji，zhezhongzhenkongjiceliangjingdujiaogao，zhuyaoyongzuojizhunliangju。xiangduizhenkongjizhuyaoliyongqitizaidiyalixiademouxiewulitexing(如熱傳導、電離、黏滯性和應變等)yuyalideguanxijianjieceliang，qiceliangjingdujiaodi，erqieceliangjieguohaiyubeiceqitizhongleihechengfenyouguan。yincixiangduizhenkongjibixuyongjueduizhenkongjibiaodinghexiaozhunhoufangnengyongzuozhenkongceliang。dantanengzhijieduchubeiceyali，shiyongfangbian，zaishijiyingyongzhongzhanjuedaduoshu。zhenkongjishuxuyaoceliangdeyalifanweiwei105~10-11Pa，甚至更小，寬達16個數量級以上，尚無一種真空計能適用於從粗真空、低真空、高真空、超高真空到極高真空的全範圍測量，因而需要有多種真空計進行組合測量。最常用的如下:
(1) U形管真空計。U形管真空計用以測量粗真空和低真空的絕對真空計。在U形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞).管的一端被抽成真空(或直接通大氣)，另一端接被測真空係統。
(2)壓ya縮suo式shi真zhen空kong計ji。壓ya縮suo式shi真zhen空kong計ji又you稱cheng麥mai克ke勞lao真zhen空kong規gui或huo麥mai氏shi真zhen空kong規gui，是shi一yi種zhong測ce量liang低di真zhen空kong和he高gao真zhen空kong的de絕jue對dui真zhen空kong計ji。這zhe種zhong真zhen空kong計ji一yi般ban用yong硬ying質zhi玻bo璃li製zhi成cheng，測ce量liang精jing度du較jiao高gao。
(3)電阻真空計。電阻真空計又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規管和測量線路兩部分組成。
(4)熱陰極電離真空計。熱陰極電離真空計通稱電離真空計，主要用於高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規管和測量線路兩部分組成。
(5)冷陰極電離真空計。冷陰極電離真空計是一種測量高真空的相對真空計，它由電離規管和測量線路兩部分組成。
(6)熱偶真空規(又稱熱偶規)。由加熱絲和熱電偶組成，其頂部與真空係統相連。
