真空泵在工業部門中應用相當廣泛,如燈泡製造、電子管、食品包裝、半導體器件的製造。真空蒸餾、真空浸漬、離子氮化、真空幹燥、真空滲碳,真空淬火、真zhen空kong澆jiao鑄zhu等deng。在zai真zhen空kong條tiao件jian下xia由you於yu氣qi體ti分fen子zi數shu較jiao少shao,可ke以yi避bi免mian氣qi體ti產chan生sheng的de有you害hai作zuo用yong。如ru在zai真zhen空kong中zhong熱re處chu理li可ke以yi避bi免mian氧yang化hua和he氣qi體ti滲shen入ru金jin相xiang組zu織zhi,從cong而er提ti高gao零ling件jian質zhi量liang;在電子器件中保持高真空可以避免電子運動受到影響;在真空包裝中保持高真空可以提高食品保質期。在現代尖端科學技術中,真空技術更是不可缺少的手段,如高能加速器、受控熱核反應,宇宙模擬等工程都需要高真空或超高真空技術。
真空泵的種類很多,有機械真空泵(如往複式真空泵、油封式機械真空泵、羅茨真空泵、渦輪分子泵、水環式真空泵等),噴射真空泵(如水蒸汽噴射泵、水噴射泵、大氣噴射泵、油增壓泵、油擴散泵等),還有物理化學吸附泵(如鈦泵、分子篩吸附泵、低溫泵等).在機械工業部門中主要采用機械真空泵,其他類型的泵則較少采用。