隨著真空泵結垢的開始，循環水在泵內的熱傳遞環境逐漸被破壞，熱交換效率將越來越低，結垢速度會越來越快。水垢成因大致包括以下幾個方麵:
(1)受熱分解。
hanyouyingduchengfendexunhuanshuijinruzhenkongbenghou，suibengdexuanzhuanzaibengtineixingchengshuihuanzuogongfare，shirongjiezaishuizhongdezhongtansuanyanzhujianfenjie，xichunanyushuidechendianjiechengshuigou。
(2)溶解度降低。
負溶解度溫度係數的SO4、CaSiO3、CaCO3等鹽類，隨著循環水水溫的增高溶解度降低析出沉澱結為水垢。
(3)相互反應。
循環水中原來溶解度較大的鹽類，在真空泵運行過程中，和其它鹽類相互反應生成難溶物質形成沉澱結成水垢。
(4)蒸發和濃縮。
由於循環水不斷做功發熱，不可避免地要產生蒸發和濃縮，使水中溶解鹽的濃度不斷增大，達到飽和時析出沉澱形成水垢。
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