真空泵油在泵中起了密封、潤滑、冷卻和頂開排氣閥的作用，所以泵油參與了壓縮和摩擦，又減少了各零部件之間的摩擦。對於沒有設置油泵的滑閥泵，隻要滑閥與泵蓋、中隔板之間的間隙適當，泵的進油量會自動調節。但如配有油泵，則油泵的流量必須經過仔細計算，通常為(7~10)x10-4S(S為泵的抽速L/s)，如油量過大，進入泵後將使真空泵變成油泵，不但壓縮功增加，而且摩擦損失急劇增加。
泵油的運動粘度隨溫度的變化很大，如某廠的V100油，40℃時粘度為104.62mm2/s,100℃時粘度為11.63mm2/s。所以在保證工作真空度的條件下，適當的提高泵溫，對降低消耗功率是大有益處的，我們通過實驗證明，把泵溫從50℃提高到70℃,消耗功率可降低7%,而且更有利於可凝性蒸氣的抽除，同時也減少了冷卻水消耗量。
真空泵油一般在-12℃就(jiu)會(hui)凝(ning)固(gu)，故(gu)北(bei)方(fang)有(you)些(xie)單(dan)位(wei)將(jiang)泵(beng)置(zhi)於(yu)室(shi)外(wai)工(gong)作(zuo)是(shi)不(bu)可(ke)取(qu)的(de)。這(zhe)樣(yang)不(bu)但(dan)不(bu)利(li)於(yu)泵(beng)的(de)啟(qi)動(dong)，而(er)且(qie)泵(beng)在(zai)啟(qi)動(dong)後(hou)的(de)短(duan)時(shi)間(jian)內(nei)，某(mou)些(xie)部(bu)位(wei)處(chu)於(yu)缺(que)油(you)或(huo)少(shao)油(you)的(de)狀(zhuang)態(tai)，容(rong)易(yi)造(zao)成(cheng)泵(beng)的(de)損(sun)壞(huai)。
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