在半導體行業中都是采用羅茨真空泵與幹泵組成的真空機組，yifangmiankeyijianshaoganbengdechicun，lingyifangmiankeyizaizhongzhenkongfanweineihuodejiaodadechousu。youyuluocizhenkongbengdezhouchenghetongbuchilundouxuyaorunhua，zherunhuayouhuiduizhenkonggongyizaochengwuran。jiejuedebanfashizaichilunxiangdeduangaishangwaijieyiduanzhenkongguanlu，bingyonglingyitaifuzhuzhenkongbengjiangchilunxiangneideyalichoudaodiyuluocibengderukouyali，jiantu1所示。
這樣，在這個壓力梯度下，齒輪箱內油蒸汽就不會通過迷宮式軸封而進入泵腔造成汙染。另外當羅茨真空泵抽除有害氣體時，要求電機傳動軸的密封絕對不能泄漏，因而出現了屏蔽電機羅茨泵，確實做到了零泄漏。 |
