半導體行業中常見真空計有電阻真空計(皮拉尼真空計)
、熱電偶真空計、電容真空計、電離子真空計

、冷陰極電離真空計和全量程真空計等。其中冷陰極電離真空計又分為潘寧規
、磁控管規和反磁控管規三種川。全量程真空計是低真空計和高真空計的組合;電阻真空計量程寬，比較常用;熱電倆真空計量程窄
，結構簡一單
，不易損壞;電容真空計測量值不受氣體種類的影響;電離真空計屬於高真空計

，會發熱;冷陰極電離真空計屬於高真空計
，不發熱，易維修;全量程真空計自動量程切換

，使用方便。

現xian在zai的de大da多duo數shu真zhen空kong計ji探tan測ce頭tou和he信xin號hao處chu理li電dian路lu做zuo在zai一yi起qi，這zhe樣yang能neng提ti高gao抗kang幹gan擾rao能neng力li並bing且qie促cu進jin其qi小xiao型xing化hua。大da多duo數shu探tan測ce頭tou使shi用yong金jin屬shu材cai質zhi而er不bu是shi玻bo璃li材cai質zhi，這zhe樣yang更geng結jie實shi小xiao巧qiao。真zhen空kong計ji顯xian示shi控kong製zhi器qi也ye要yao求qiu小xiao型xing化hua
，有you的de做zuo到dao了le體ti積ji為wei105mmx110mmx250mm,質量為1.3kg
，帶3個接頭，每個接頭可以接電阻真空計或冷陰極電離真空計等，這種智能型真空計控製器攜帶和使用都很方便。