油封式真空泵即旋片式真空泵

，一般為真空機組的前級真空泵。這種泵是在60~100℃範圍內把各種不同的混合氣體壓縮到大氣壓並排放到排氣管中。如果泵內危害性產物的壓力、濃度、溫度都比較高
，這些物質在泵及泵的附件內積存起來這些物質在排氣管道內同周圍空氣相接觸等等

，都會構成潛在的危險。

半導體製造使用或產生的有害氣體，必須采取合適的測量方法，以防止著火和爆炸，保證設備的正常運行，防止操作人員
、維(wei)修(xiu)人(ren)員(yuan)及(ji)服(fu)務(wu)人(ren)員(yuan)發(fa)生(sheng)急(ji)性(xing)或(huo)慢(man)性(xing)中(zhong)毒(du)。為(wei)了(le)安(an)全(quan)起(qi)見(jian)，應(ying)配(pei)備(bei)抽(chou)力(li)足(zu)夠(gou)大(da)的(de)合(he)適(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)和(he)附(fu)件(jian)

，並(bing)要(yao)求(qiu)采(cai)用(yong)合(he)理(li)的(de)操(cao)作(zuo)和(he)維(wei)護(hu)方(fang)法(fa)，配(pei)備(bei)適(shi)當(dang)的(de)監(jian)控(kong)裝(zhuang)置(zhi)。

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