有些真空工藝會產生大量的灰塵
，如果灰塵隨被抽氣體進入油封真空泵內(nei)混(hun)在(zai)泵(beng)油(you)中(zhong)，會(hui)像(xiang)研(yan)磨(mo)劑(ji)一(yi)樣(yang)加(jia)速(su)泵(beng)腔(qiang)內(nei)零(ling)件(jian)的(de)磨(mo)損(sun)，對(dui)泵(beng)轉(zhuan)子(zi)和(he)泵(beng)腔(qiang)造(zao)成(cheng)磨(mo)損(sun)和(he)破(po)壞(huai)，堵(du)塞(sai)油(you)路(lu)或(huo)使(shi)泵(beng)無(wu)法(fa)運(yun)行(xing)
，如(ru)果(guo)灰(hui)塵(chen)進(jin)入(ru)真(zhen)空(kong)閥(fa)門(men)則(ze)會(hui)使(shi)密(mi)封(feng)失(shi)效(xiao)而(er)泄(xie)漏(lou)，因(yin)此(ci)塵(chen)埃(ai)的(de)防(fang)止(zhi)和(he)過(guo)濾(lv)己(ji)成(cheng)為(wei)延(yan)長(chang)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)的(de)使(shi)用(yong)壽(shou)命(ming)
，提(ti)高(gao)生(sheng)產(chan)率(lv)的(de)關(guan)鍵(jian)問(wen)題(ti)，在(zai)有(you)塵(chen)埃(ai)的(de)真(zhen)空(kong)係(xi)統(tong)中(zhong)，必(bi)須(xu)采(cai)用(yong)塵(chen)埃(ai)過(guo)濾(lv)器(qi)。

在灰塵量較少時，可以由泵油過濾係統濾除
，但灰塵量較大時，為防止真空泵的損壞，保證真空泵的正常運轉必須使用除塵器。