1.機械真空泵
、蒸氣流真空泵工作液
水、汞、油是水環泵、機械泵、分子泵
、噴射泵、擴散泵所采用的工作液體與密封液體。蒸氣噴射泵

、擴(kuo)散(san)泵(beng)依(yi)靠(kao)工(gong)作(zuo)液(ye)蒸(zheng)氣(qi)進(jin)行(xing)噴(pen)流(liu)或(huo)擴(kuo)散(san)抽(chou)氣(qi)。因(yin)此(ci)在(zai)泵(beng)的(de)鍋(guo)爐(lu)工(gong)作(zuo)溫(wen)度(du)下(xia)，希(xi)望(wang)工(gong)作(zuo)液(ye)具(ju)有(you)足(zu)夠(gou)的(de)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)，而(er)在(zai)常(chang)溫(wen)下(xia)由(you)於(yu)油(you)蒸(zheng)氣(qi)可(ke)能(neng)會(hui)彌(mi)漫(man)整(zheng)個(ge)被(bei)抽(chou)真(zhen)空(kong)容(rong)器(qi)
，成(cheng)為(wei)極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)的(de)限(xian)製(zhi)因(yin)素(su)
，因(yin)此(ci)又(you)希(xi)望(wang)它(ta)在(zai)常(chang)溫(wen)下(xia)有(you)低(di)的(de)飽(bao)和(he)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)。除(chu)了(le)對(dui)其(qi)蒸(zheng)氣(qi)壓(ya)特(te)性(xing)有(you)一(yi)定(ding)要(yao)求(qiu)外(wai)，好(hao)的(de)熱(re)穩(wen)定(ding)性(xing)、抗氧化性及在室溫下有適中的流動性也是燕氣噴射泵、擴散泵所要求的。真空泵油大體可分為:石油烴
、酷
、矽油
、鹵化碳氫化物、醚五大類。
2.吸氣劑和吸氣劑泵材料
(1)電子管用吸氣劑
吸氣劑一般分蒸散型和非蒸散型二類。蒸散型有時也稱擴散型或閃燒型，如:鈣
、鎂、銀、鋇等
，其中以鋇最為常用。非蒸散型有時也稱塗層型或體積型，如:錯、欽、牡等，其中錯是常用吸氣劑的主要組分。近年來發展的蒸散型摻氮吸氣劑，非熬散型的鉻鋁、鉻石墨體吸氣劑有著優異的吸氣性能。
(2)升華泵和濺射離子泵的工作金屬
鐵、鉭、铌、鉬、釔、鈧等金屬均曾用作各種吸氣劑泵和離子泵的工作金屬。