真空泵是從負壓下抽氣、一般在大氣壓下排氣的輸送機械，其目的是造成並維持工藝係統所要求的真空度。煉油和石油化工生產中常用的真空泵有往複真空泵、水環真空泵和噴射真空泵。
(一)往複真空泵
往複真空泵的構造和作用原理與往複壓縮機基本相同，氣缸內外壓差很小，但其壓縮比很大(例如，對於95%的真空度，壓縮比約為20左右)。因此，往複真空泵的吸入和排出活門必須輕巧靈活、啟閉方便;其qi餘yu隙xi容rong積ji必bi須xu很hen小xiao，同tong時shi為wei了le減jian小xiao餘yu隙xi中zhong殘can餘yu氣qi體ti對dui真zhen空kong泵beng抽chou氣qi速su率lv的de不bu良liang影ying響xiang，常chang在zai真zhen空kong泵beng氣qi缸gang兩liang頭tou的de內nei壁bi上shang設she有you連lian通tong活huo塞sai兩liang側ce的de平ping衡heng氣qi道dao，如ru圖tu2-58中1所示。在排氣終了時，平衡氣道能使餘隙與活塞的另一側短暫時間相通，以便使餘隙中的殘存氣體通過平衡氣道流到活塞的另一用側.以降低餘隙中氣體的壓力，從而提高了吸氣效率，即提高了容積係數。往複真空泵所產生的極限真空可達2kPa左右(絕壓)。往複真空泵所排送的氣體不應含有液體，如氣體中含有大量蒸氣，必須把可凝性氣體設法除去(一般采用冷凝)之後再進入真空泵內，即往複真空泵屬於幹式真空泵。
(二)水環式真空泵
水(shui)環(huan)真(zhen)空(kong)泵(beng)在(zai)吸(xi)氣(qi)中(zhong)可(ke)允(yun)許(xu)夾(jia)帶(dai)少(shao)量(liang)水(shui)，屬(shu)於(yu)濕(shi)式(shi)真(zhen)空(kong)泵(beng)。水(shui)環(huan)真(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)結(jie)構(gou)簡(jian)單(dan)緊(jin)湊(cou)，沒(mei)有(you)活(huo)門(men)，工(gong)作(zuo)安(an)全(quan)可(ke)靠(kao)。但(dan)它(ta)所(suo)能(neng)產(chan)生(sheng)的(de)真(zhen)空(kong)度(du)不(bu)高(gao)，最(zui)高(gao)可(ke)達(da)85%的真空度，且因轉子在水中旋轉，將引起額外的摩擦阻力損失，因而效率較低，約為30%~50%。水環真空泵運轉時，要不斷地補充清水，以維持泵內液封，同時也起冷卻泵體的作用。
如將水環真空泵的進口接大氣，出口接設備時，可作鼓風機用，所產生的風壓不超過98kPa(表壓)。
(三)旋片真空泵
ruguoyaohuodejiaogaozhenkongdushi，yiyongyoufengshixuanpianzhenkongbeng，paiqifajinzaiyouxiangzhong，keyifangzhiqitihuiliudaoqigangnei。qigangwaimiansheyoushuitao，duiqigangbijinxinglengque。
旋片真空泵可達較高的真空度(極限壓力可達0.06Pa)，但抽氣速率比較小，適用於抽除幹燥或含有少量可凝性蒸氣的氣體。不適用於抽除含塵和對潤滑油起化學作用的氣體。
(四)噴射真空泵
penshezhenkongbengshuyuliutizuoyongshijixie，tashiliyonggaosuliutisheliushiyalinengxiangdongnengzhuanhuansuozaochengdezhenkonglaixisongliutide，jikeyonglaixisongqiti，yekeyonglaixisongyeti。penshebengdegongzuoliutiruguoshizhengqi，zeweizhengqipenshebeng;工作流體如果是水或其他液體，則稱為水或液體噴射泵。 |
