爪式泵是為半導體工業發展而研製的
，它有如下一些特點：

1）泵腔內無潤滑劑
，因而無返油現象發生；

2）抽氣原件為非接觸式的可實現高速運轉（3000r/min）；

3）與被抽氣體接觸的表麵防腐蝕耐磨損；

4）在泵腔內氣流垂直運動，少量的顆粒物和液體等在重力作用下易於排除
；

5）該泵型式多樣
，功能可以擴展，泵的主體
，帶有齒輪、馬達以及氣體淨化設備，附件有入口處防反流的閥門，出口處有截流閥
，

電氣監控及報警裝置；

6）齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤滑，上端蓋內的軸承用PFPE油脂潤滑；

7）第二、三、四級均有淨化氣體入口，以改善被抽介質順利通過泵腔，無此需要的可以不用通淨化氣體
，淨化氣體用三個流量計分

別調節，相互都是獨立的，以保證節約惰性氣體
，利用三個電磁閥可微調其流量；

8）入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷

，出口處截流閥能將泵的出口封閉起來
，將泵通以淨化氣體，這些閥可自動開關，真空係

統有可靠的保護，杜絕了向真空室的返流；

9）電氣監控與操作，主要有電源，遠距離操作和開關閥等的控製。

當泵出現故障時泵能自動停車，兩個閥門一齊關閉或截流閥關閉。動力和遙控有一台變壓器和整流器，以提供所需的電流電壓，以

滿足監控過程的需要。動力電源
、繼電器用以對馬達的接通與斷開及馬達超負荷的保護。操作過程有顯示器，有按鈕控製，可控製

馬達、防返流閥的控製閥和截流閥的控製閥，第二、三、四級的淨化氣體的通斷閥，惰性氣體的主閥，淨化氣體向軸封處通氣用的

閥門等。故障的監控報警或停車，係統安全自動控製
，也可按鈕控製。啟動時
，打開淨化氣體，泵正常運行3min，淨化氣體向各段

湧入
，通淨化氣體對泵性能有些影響。每當遇到緊急情況可按自動停車鍵
，淨化氣體繼續接通，關閉入口防返流閥
，各級泵淨化

1min，淨化結束，馬達再停車，關閉惰性氣體截止閥。